光刻机对国内公司来说性价比高吗？

现在光刻机品牌挺多的，看你是科研用还是生产用。如果量产，配置要求高，性价比不会高。如遇科研或小批量生产，SUSS、NXQ或部分韩国台湾省品牌性价比较高，我接触的一些大学实验室使用NXQ。