生产光刻机光源的上市公司。

1、阿斯麦公司:阿斯麦上市公司是全球领先的半导体生产设备供应商之一，总部位于荷兰，是光刻机及相关设备的主要制造商之一。生产光刻机光源的上市公司。

2.睿宇半导体:睿宇半导体上市公司是台湾省的一家半导体公司，主要从事芯片设计和制造，产品包括光刻机光源、LED芯片、显示驱动器等。