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其电路制作在半导体芯片表面的集成电路也称为薄膜集成电路。另一种厚膜集成电路是由集成到衬底或电路板中的独立半导体器件和无源元件组成的小型化电路。
从1949年到1957年，沃纳·雅可比、杰弗里·杜默、西德尼·达林顿和Yasuo Tarui都开发了原型，但现代集成电路是由杰克·基尔比在6543年开发的。它获得了2000年的诺贝尔物理学奖，但同时期还开发了现代实用集成电路的罗伯特·诺伊斯(robert noyce)却早于1990去世。