MOCVD运营商,前途如何?这项工作是不是技术性的
随着化合物半导体器件(如GaAs MMIC、InP MMIC、GaN蓝光LED)市场的不断扩大,对MOCVD系统的需求越来越大。目前世界上最有实力的MOCVD系统厂商是德国的爱思强,美国的Emcore,英国的Thomas ~ (1999被爱思强合并)。因为MOCVD系统的关键问题是保证材料生长的均匀性和可重复性,所以不同厂家的MOCVD系统的主要区别在于反应室的结构。Aixtron采用行星反应器,Emcore采用涡轮盘反应室(业务已出售给Veeeo公司),Thomas Swan(该公司于2003年2月被Aixtron合并)采用闭式耦合喷淋头(CCS)反应室。目前国内进口的MOCVD系统约有200台,其中Aixtron MOCVD系统和Emcore MOCVD系统占绝大多数,还有少数Thomas Swan MOCVD系统、法国ASM MOCVD系统和日本RIPPON SANSO MOCVD系统,主要用于GaN LD/LED的研究和制造。