上海精密电子束和东方晶源电子束哪个好？

上海测的电子束好。根据相关资料，上海精密测量的电子束技术具有高灵敏度，可以不受某些表面物理性质的影响，可以检测微小的表面缺陷，如栅极蚀刻残留物等。东方晶体源的电子束应用范围小，检测速度慢。