你了解天津华海清科有限公司吗？

天津华海清科机电科技有限公司(以下简称“华海清科”)是由天津市政府和清华大学共同出资组建的有限责任公司，旨在推动中国CMP技术和设备的产业化。公司位于天津市津南区海河科技园。公司从筹备到成立，得到了天津市各级政府和清华大学的全力支持。

清华大学R&D团队通过实施国家科技重大专项“超大规模集成电路装备及成套工艺”(简称“02项目”)，掌握了超低压CMP设备和工艺的关键技术，成功研制出国内首台用于铜工艺抛光的“干进干出”CMP设备，初步具备产业化能力。？

华海清科注册资本6000万元。公司拥有清华大学CMP设备的核心技术和骨干团队。通过资源整合和人才引进，成为拥有自主核心技术和强大科研团队的高科技公司。

产品和服务:

Universal-300 Plus是根据市场需求开发的新型12英寸CMP设备。拥有四个抛光单元和单个清洗单元，集成多种终点检测技术，可满足45 ~ 130 nm氧化物/STI/Poly/Cu/W CMP等多种工艺要求。

Universal-300 T在300 X型号的基础上配备了更先进的组合清洗技术，展现了更优异的清洗效果，可满足28nm以下逻辑厂和1xnm存储厂的氧化物/ SiN/STI/Poly/Cu/W CMP等多种工艺要求。