中国光刻胶验证平台有哪些？

65438年10月3日，华茂科技产业基金东阳开阳科技创新发展合伙企业对外投资公告称，东阳开阳于2020年2月30日与付志伟、上海博康、徐州博康签订了投资协议及其附件。华茂科技将通过东阳开阳投资徐州博康，将切入半导体关键材料光刻胶领域。

上海新阳:预计阿斯麦-1400光刻机将于3月底前进入合作方现场。

65438+10月5日，上海新阳发布公告称，公司与北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司签署合作框架协议，双方将在北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司指定的工厂合作建设光刻胶验证平台。

今后，公司购买的用于研发193nm ArF干法光刻胶的阿斯麦-1400光刻机将放置在合作方指定的地方，安装好底座后即可调试使用。预计2021三月底前，光刻机将进入合作方场地。

圣泉集团IPO将举行，拟募资6543.8+0.2亿元布局上游光刻胶材料。

65438+10月7日，中国证监会召开第十八届发行审核委员会第四次会议2021，济南圣泉集团股份有限公司(IPO)获得通过。

招股书显示，公司本次拟公开发行不超过6，543.8亿元人民币普通股，不低于本次发行后股本的654.38+00%。扣除发行费用后，募集资金将按优先顺序投资于以下项目:

来源:圣泉集团

7000万股景瑞被引入ArF掩模对准器。

19年10月19日，景瑞股份发布《关于购买光刻机设备进展的公告》。公告称，公司成功采购了一台型号为阿斯麦XT 1900 Gi的光刻机。

从光刻机购买的设备是阿斯麦XT 1900 Gi ArF浸没式光刻机，可以用来显影高端光刻胶，最高分辨率28nm。设备于2021 1 19抵达苏州，并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。

年产1600吨光刻胶材料项目落户山东。

6月23日，2021项目集中签约仪式在山东威海南海新区举行，11项目集体签约。此次签约的项目包括光刻胶核心材料等项目。

其中，光刻胶核心材料项目主体为山东科莱福光电科技有限公司，成立于2020年6月。该项目建筑面积3万平方米，拟建设包括颜料绿G58生产在内的新材料生产基地。